►关于氩气/氦气纯化的方法:

 ■第一种

 直接脱氧法。就是使用活性金属、催化剂与氩气/氦气中的氧气进行反应，消化掉氩气/氦气中的氧气，从而达到脱氧的目的，经过分子筛吸收掉氩气/氦气中的水份和二氧化碳，使氩气/氦气的含水量小于1 ppm；

■第二种

是采用吸气剂。在一定温度下，吸气剂可吸收氮、氢、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体经吸收处理后，净化后纯度可达到6N\7N\8N\9N，这种工艺生产出来的高纯气体适用于各类仪器仪表适用要求。

►技术参数:

■ 处理气量：5~2000Nm3/h(可根据用户需要订做非标设备)

■ 原料气要求：液氩/液氦或者较好的管道氩/氦均可使用

■ 工作压力0.2-1.6MPa可调

►用途:

       用于高纯气体充装站、焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气、填充气体、真空检漏、气相色谱分析的载气。

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