1.装置要求：

 工艺要求：

氦气经氦气净化机（RZ-HEC-4D/6N型）后杂质含量应控制为：

纯度：99.9999%

杂质含量：O2≤0.2PPm，H2O≤0.2PPm(即露点≤－86℃)，CO+CO2≤0.1PPm，N2≤0.2PPm，S、P的氧化物≤0.1PPm。尘埃粒子数（≥0.3μm）3-5个／升。

处理气量：4M3/h。工作压力:0.1-0.9MPa

2.适用标准、规范、应用领域

GB/T4844.1~4844.3-1995《超纯氦气》

GB50058《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》

GB7251《低压成套开关柜》

GB150《钢制压力容器》

GB151《钢制管壳式换热器》《钢制压力容器安全技术监察规程》

   本装置应用领域：

       主要用于电子、原子能、光谱分析等行业的生产和科研工作，尤其适合与氧氮分析仪配套使用。