氩气是直读光谱仪分析的重要因素，直读光谱仪对氩气的纯度要求也相当高，一般要求控制99.999%以上纯度的氩气，这对直读光谱仪检测的正常使用和检测结果的准确性至关重要。

(1)普通氩气纯度一般不会高于五个9,氩气的的主要功能是对钨电极保护作用,一般直读光谱仪激发时由于瞬间电压高、电流大,激发温度都很高,如果氩气纯度不够，对钨电极就会损伤，而且一些高溶点的物质如硅等就激发不充分，在金属表面就会有很多白点，造成检测数据不不准。

(2)低于99.999%的普氩还是不要用，几个月后就会激发不了样块，当然，如果有氩气净化机，还是能纯化到高高纯氩气，不过普氩里杂质较多，需要经常再生。如果直接使用普氩，对光路尤其是透镜的损坏较大，强烈推荐不用普氩。

(3)氩气不纯，影响光谱仪的透镜，导致透镜污染，影响直读光谱仪分析谱线;再者激发时声音表现无力，激发发点不充分燃烧，直接影响分析数据，所得数据偏离实际值，不准确。

(4) 高纯氩气作为火花室保护气的主体，其纯度高才会形成需要的“聚能放电”否则就是所谓的“扩散放电”引引起不良的激发。样品的组织结构越复杂，对氩气的纯度要求就越严格。

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直读光谱仪专用氩气净化机可与美国热电，德国斯派克、OBFL、布鲁克；瑞士ARL，日本岛津，北京纳克，英国阿朗，北京瑞利等多家光谱仪公司生产的直读光谱仪、荧光光谱仪、辉光光谱仪配套使用，以增强分析数据的可靠性和稳定性，同时可以较大的节省购买高纯氩气的成本。RZ-YA-4D尤其适用于直读光谱仪配套使用，同时该净化机也可用作高纯材料（如单晶硅、多晶硅、高纯金属）生产的保护气氛。